備受矚目的SEMICON China2018展覽于2018年3月14日在上海新國際博覽中心如期盛大開幕,北京華創(chuàng)再次重磅亮相,全面展示為集成電路、先進封裝、半導體照明、功率半導體、微機電系統(tǒng)、化合物半導體、平板顯示及新能源光伏等尖端領域量身定做的Etch、PVD、CVD、Furnace、WetClean、MFC等高端半導體工藝裝備及核心零部件的解決方案。
其中,在集成電路芯片制造領域,北方華創(chuàng)微電子擁有刻蝕機、PVD、單片退火設備、氧化爐、退火爐、LPCVD以及清洗機七類產(chǎn)品。經(jīng)過十七年的不懈努力,這些產(chǎn)品已經(jīng)全面在中國最主流的幾家集成電路芯片廠穩(wěn)定量產(chǎn)。其中,由北方華創(chuàng)自主研發(fā)的應用于14nm先進制程的等離子硅刻蝕機、Hardmask PVD、Al-PadPVD、ALD、單片退火系統(tǒng)、LPCVD已正式進入集成電路主流代工廠;HardmaskPVD、Al Pad PVD設備成功進入國際供應鏈體系;12寸65/55nm清洗機單機累計流片量已突破120萬片大關;深硅刻蝕設備也已成功進入東南亞市場。此外,應用于28nm的HardmaskPVD系統(tǒng)工藝設備、應用于28/40nm的單片退火設備、應用于55nm的硅刻蝕機均被國內領軍集成電路芯片制造企業(yè)指定為Baseline機臺。應用于薄膜/厚膜硅外延的APCVD系統(tǒng)能滿足外延廠和芯片廠的差異化需求,連續(xù)兩年斬獲客戶大批量訂單,不僅填補國內空白,更獲得客戶和市場一致認可,實現(xiàn)了中國半導體裝備制造技術一個又一個里程碑式的跨越。
在先進封裝領域,北方華創(chuàng)微電子的等離子刻蝕機,PVD和Descum等設備已得到全面應用,如WLCSP,TSV,Copperpillarbump,Goldbump等。在CISWLCSP應用中,北方華創(chuàng)微電子的PVD是世界第一條12寸生產(chǎn)線baseline機臺,憑借穩(wěn)定優(yōu)異的表現(xiàn),持續(xù)獲得重復訂單,并助力客戶不斷取得高端客戶訂單。在近幾年的新增市場中,北方華創(chuàng)TSV刻蝕機在大陸地區(qū)以絕對優(yōu)勢,保持著較大的市場占有率。Copper Pillar Bump方面,PVD設備已進入大陸前兩大封測廠生產(chǎn)線,Descum設備也已獲得前兩大封測廠的重復訂單;Gold Bump方面,北方華創(chuàng)的PVD設備在大陸主要金凸塊封測廠均實現(xiàn)銷售。隨著先進封裝技術向高密度和高集成度發(fā)展,將更多的使用到通孔技術和重布線技術,意味著有更多的等離子刻蝕和PVD設備需求,這一趨勢與北方華創(chuàng)微電子的核心優(yōu)勢產(chǎn)品高度吻合,北方華創(chuàng)微電子將持續(xù)在該領域提供更新的技術,以及更加優(yōu)質的產(chǎn)品和服務。
在LED領域,ELEDE系列刻蝕機自2010年面市以來安裝量已經(jīng)突破三百臺,其中380G系列刻蝕機在2014~2017年的新增市占率均達到90%以上,切實成為了行業(yè)標桿機型,是國內各大芯片企業(yè)擴產(chǎn)的首選產(chǎn)品。北方華創(chuàng)自主研發(fā)的AlN濺射設備自開發(fā)以來,引領LED最新技術發(fā)展趨勢,幫助客戶節(jié)省外延產(chǎn)能且有效提升芯片發(fā)光亮度和良率等各項指標,已成為LED不可或缺的制程設備,更是大量獲得了美國和臺灣地區(qū)的重復訂單,截止2017年底銷量已突破百臺。而同樣面向LED芯片制造的EPEE550系列PECVD,受到全行業(yè)高度認可,市場占有率穩(wěn)居市場首位。2017年,LED領域三類設備的市場占有率穩(wěn)居全球第一。北方華創(chuàng)微電子在LED領域已樹立起引領行業(yè)方向的大旗,產(chǎn)品性能優(yōu)越,全面趕超各類進口設備,不斷提升服務、完善技術解決方案,堅持以客戶為中心,持續(xù)不斷的創(chuàng)新發(fā)展,力爭為行業(yè)發(fā)展做出更大的貢獻!
面向目前高速增長的MEMS及新興市場,北方華創(chuàng)微電子用于MEMS芯片制造的深硅刻蝕設備以及通用硅刻蝕設備,已批量銷往多家科研機構及生產(chǎn)線,服務于MEMS及微納制造、光通信等多個新興領域,客戶安裝量超過50臺。
在第三代半導體領域,北方華創(chuàng)打破傳統(tǒng)設備設計思路,將SiC刻蝕、GaN刻蝕、介質刻蝕、高溫爐、LPCVD、PECVD以及PVD等關鍵制程設備發(fā)展成為行業(yè)標桿企業(yè)主流機臺,可提供第三代半導體功率器件和射頻微波器件整體解決方案。此外,公司自主開發(fā)的臥式LPCVD設備也實現(xiàn)了新的應用——半導體級碳納米管的生長,該應用已成功在客戶端上線。
在新能源光伏領域,北方華創(chuàng)微電子研制的應用于高效光伏電池生產(chǎn)的新型負壓擴散爐銷量穩(wěn)居國內前列,暢銷海內外;其大產(chǎn)能PECVD,順利獲得海外客戶訂單;應用于新能源光伏領域的全自動多晶黑硅制絨機、在線濕法刻蝕清洗機、在線濕法制絨機、臥式氧化擴散爐、PECVD等設備均已實現(xiàn)進口替代。
在平板顯示領域,作為國內首家進入TFT-LCD生產(chǎn)線的設備提供商,公司自主研發(fā)的GrindCleaner、Indexer等設備均在國內市場占據(jù)重要份額,所提供的各類設備在客戶端的5代線、6代線、8.5代、10.5代線以及OLED生產(chǎn)線批量穩(wěn)定生產(chǎn),此外公司新增的環(huán)保類設備也已成功進入京東方各世代生產(chǎn)線,為客戶創(chuàng)造經(jīng)濟效益。
此外,北方華創(chuàng)微電子在氣體流量測量和控制方面擁有多項關鍵技術優(yōu)勢,MFC產(chǎn)品行銷歐美,在國內市場中長期占據(jù)第一品牌的行業(yè)地位,從2010年至今已累計銷售突破20萬臺。
值得一提的是,北方華創(chuàng)于2018年1月順利完成對美國Akrion System LLC公司的收購,該公司作為清洗機的設備商,擁有全球唯一的兆聲波異性換能器制造、實驗及標定平臺實驗室。整合后的清洗業(yè)務包括單片清洗和批式清洗兩大產(chǎn)品線,覆蓋工藝種類進一步增多,包括PreFilm Deposition Clean,PR Strip,Backside Clean,Wafer Reclaim,PostEtch Clean,SiN/Oxide Etch,Post Metal Deposition Clean和Al Pad Clean等關鍵清洗工藝,有力提升了北方華創(chuàng)微電子清洗設備業(yè)務的整體市場競爭力。
產(chǎn)業(yè)風口,政策支持,資金充足,市場活躍。在2016年,北方微電子和七星華創(chuàng)把握時代機遇,不負振興重任,順利完成企業(yè)重組。優(yōu)勢互補,再次啟程,旨在打造中國最大的半導體裝備產(chǎn)業(yè)平臺,這是精良品質和卓越服務最佳明證,也是作為一個為全球半導體制造用戶提供極具競爭力的半導體制造裝備和先進制程解決方案的國際品牌的堅定一步。2018年1月,北方華創(chuàng)微電子實現(xiàn)了對美國Akrion公司的收購,使得北方華創(chuàng)微電子有能力更好地為全球范圍的客戶提供全面的清洗工藝設備解決方案。
北方華創(chuàng)微電子將繼續(xù)以“創(chuàng)造精良,打造民族自尊”為己任,發(fā)揚“精良品質·卓越服務·中國制造”的企業(yè)精神,以高端微電子工藝裝備領軍企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺,深耕發(fā)展,引領未來,堅持以客戶需求為導向的持續(xù)創(chuàng)新,助推產(chǎn)業(yè)技術進步,帶給產(chǎn)業(yè)無限可能。
上海新國際博覽中心,N3館3339展位,期待與您相遇,共享行業(yè)盛典。
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