本報記者 李勇

    3月5日晚間，沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”，688037）披露的公告顯示，公司擬籌劃控制權(quán)變更事項，公司股票自2025年3月6日起停牌，預計停牌時間不超過2個交易日。    

    芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)立的國家級高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

    歷經(jīng)20余年的發(fā)展，芯源微目前已形成了前道涂膠顯影設備、前道清洗設備、后道先進封裝設備、化合物等小尺寸設備四大業(yè)務板塊，產(chǎn)品覆蓋前道晶圓加工、后道先進封裝、化合物半導體等多個領域。

    涂膠顯影機是芯片制造過程中唯一與光刻機聯(lián)機作業(yè)的核心設備。作為國內(nèi)唯一可以提供量產(chǎn)型前道涂膠顯影機的廠商，芯源微在光刻工藝膠膜均勻涂敷技術(shù)、精細化顯影技術(shù)、高產(chǎn)能設備架構(gòu)及機械手優(yōu)化調(diào)度技術(shù)、內(nèi)部微環(huán)境精確控制技術(shù)等多項關鍵技術(shù)上已達到國際先進水平，現(xiàn)已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸沒式等多種型號設備。

    值得關注的是，長期以來，芯源微一直處于無實際控制人狀態(tài)。2019年登陸資本市場后，公司原第一大股東沈陽先進制造技術(shù)產(chǎn)業(yè)有限公司（以下簡稱“先進制造”）曾多次通過詢價轉(zhuǎn)讓的方式轉(zhuǎn)讓其所持有的芯源微股權(quán)，并在2024年1月份失去第一大股東地位。當前，芯源微前三大股東分別為遼寧科發(fā)實業(yè)有限公司、先進制造和沈陽中科天盛自動化技術(shù)有限公司，三個股東持股比例分別為10.61%、9.49%和8.41%。芯源微目前仍處于無實控人狀態(tài)。

（編輯 孫倩）